，它们是情人。”

林平安小声开口，“小白，接管全系统。”

“明白，先生。”

耳机里传来小白那让人无比安心的声音，“流体力学模型加载完毕，热透镜效应补偿算法已就位，实时波前像差校正已启动。”

“那就……点火。”

林平安的手指轻轻按下。

“嗡——”

一声极低沉、极具穿透力的电流声瞬间响彻车间。

这头沉睡的巨兽，苏醒了。

“注水！”

随着指令下达，那个最令人提心吊胆的环节开始了。

超纯水通过特制的喷嘴，被注入到投影镜头和晶圆之间的那层狭小缝隙中。

那是只有几毫米的间隙！

水流必须形成一个完美、稳定、且随着晶圆台高速运动而不会破碎的“水膜”。

这就好比你要在疾驰的高铁顶上顶着一杯水，还得保证水面连一丝涟漪都没有。

大屏幕上，高速摄像机实时传回了微观视角的画面。

彼得瞪大了眼睛，死死盯着屏幕。

“气泡！千万别有气泡！”他在心里疯狂祈祷。

然而，画面上的一幕让他彻底傻眼了。

水流极其顺滑地流过，在空气气帘的约束下，乖巧得像是一块凝固的水晶。

没有湍流。

没有飞溅。

更没有该死的气泡！

“这……这流体控制……”彼得喃喃自语，“这简直就是艺术！它是怎么做到的？它是怎么预判液体流向的？”

他不知道，在小白的算力世界里，每一个水分子的运动轨迹都已经被模拟了上亿次。

这就是“全知全能”。

“流场稳定。”林平安的声音依旧平淡，“开始曝光。”

“滋——滋——滋——”

深紫色的arf激光束穿过复杂的透镜组，穿过那层完美的水膜，狠狠地撞击在涂满光刻胶的12寸晶圆上。

工件台开始疯狂移动。

那是令人眼花缭乱的速度，每秒钟移动数百次，还要保持纳米级的定位精度。

“这就是所谓的‘加强版双工件台’技术？”

旁边的一个德国工程师看得目瞪口呆，“这速度比以前的asl的还要快30！而且稳得像磐石一样！”

十分钟。

仅仅十分钟，一张晶圆曝光完成