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机械臂将其送入显影机。
所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。
显影完成。
晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
图像被投射到了中央大屏幕上。
那一刻。
车间里响起了一片抽气声。
屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。
线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(ler)。
“测量线宽!”彼得吼道。
“线宽……4500n!”
检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于05n!套刻精度……2n!”
“轰——!!!”
虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。
“成功了!我们成功了!”
“45纳米!一次成功!上帝啊!”
“这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”
彼得冲到屏幕前,像个疯子一样抚摸着那张图像,眼泪夺眶而出。
“完美……这是我这辈子见过的最完美的光刻线条!这是工业的奇迹!”
他转过身,看着林平安的眼神里充满了狂热的崇拜,就像是在看一个降临凡间的神祗。
“老板!您知道这意味着什么吗?我们跨过了90纳米,跨过了65纳米,直接干到了45纳米!”
“我们领先了世界整整一代!”
然而,林平安并没有表现出太多的激动。
他只是看了一眼数据,微微皱眉。
“良品率才95?”
他摇了摇头,“不够。”
“什么?95还不购?”彼得差点一口气没上来,“老板,这是原型机!第一次曝光!asl以前的量产机良品率刚开始也才80啊!”
“那是他们菜。”
林平安语气淡然,却狂妄至极。
“我们要做的,不是追赶,是碾压。”
“小白,启动‘光刻之神’模式。”林平安再次轻声呼唤。
“收到,先生。正在进行全参数反向优化。”
下一秒。
屏幕上的数据开始疯狂跳动。
那不是几十个参数在变,那是几亿个变量在同时调整!
激光功率、焦距微调、液流速度、工件台加速度、甚至连环境温度的0

