室的工作人员叮嘱道：「曝光开始，单次曝光时间设置为0.5秒，记录所有参数。」

核心腔室的观察窗内，淡紫色的微光骤然亮了一下，旋即恢复柔和。

光路末端的探测器疯狂刷新着数据，屏幕上跳出一行行代表「曝光能量密度」、「线宽均匀度」、「图形套刻精度」的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近！

0.5秒的时间，却像一个世纪那幺漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时，汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出，送往检测室。

一行人都跟了过去，连脚步都变得急促起来。

在精密的EUV掩模版检测仪下，当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时，现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝，却没有一丝断裂或模糊，每一个电晶体的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机，又像照相机，只不过它所运用的『画笔』和『画板』都更为精细。

「成了！真的成了！」

汪象朝喃喃低语，双手在发抖，嘴里发出『呵呵呵』的笑声，压抑中带着亢奋。

不一会儿，笑声变得呜咽。

他今年五十九岁，在EUV光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。

曾经的他，眼看着自己的人生快要走到尽头，连EUV光源的技术突破也渐渐看不到希望，心里满是无力。

可谁曾想，星源科技会在这时横空出世，不仅打破了僵局，更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。

如今造出了EUV光刻机和烛龙 G1051五轴联动数控工具机，往后华国晶片产业和高端制造业，总算不用再看别人脸色了！

汪象朝抹了把脸，想把激动的泪水憋回去，可嘴角却控制不住地往上扬，最后索性也不掩饰，任由泪水顺着脸颊往下淌。

这眼泪里，有大半辈子的遗憾，更有苦尽甘来的畅快。

林南见状，拍了拍他的肩膀，温言劝慰道：「汪工，咱们没白等，也没白干！」

站在人群里的梁劲松一脸唏嘘，他暗暗打量着陈延森，默默给出评价：妖怪级别的天才！

要知道，世界上大部分的技术突破，都需要一代人、甚至是几代人的积累，可陈延森硬是在二线的技术栈上，拿出了行业顶尖的方案。

220瓦、解析度小于12纳米、0.33数值孔径的光学设计，每平方厘米可