光刻机，用的都是透镜。就像相机的镜头一样，光线穿过去。那是咱们的传统强项。”

“但是euv光太娇气了，穿透力极差，任何玻璃都会把它吸收掉。所以，必须用反射镜！但这反射镜的精度要求，简直是变态！”

李工指着那几面镜子，语气中满是赞叹：

“这些镜子，表面镀了上百层钼和硅的纳米薄膜。每一层的厚度，都要控制在原子级别！稍微有一点误差，光线就散了。”

“这还不是最难的。最难的是镜面的平整度。”

李工拿出一张示意图，指着上面的一条近乎完美的直线：

“如果把这面镜子放大到整个地球那么大，那么它表面的起伏，不能超过一根头发丝！这就是您要求的精度！”

“我们按照您的‘离子束修形’工艺，磨了整整两个月，报废了几十块材料，终于磨出来了！”

李工抚摸着那是镜子的外壳，就像是在抚摸情人的肌肤。

“老板，您知道吗？当我们第一次测试反射率达到70的时候，整个实验室的人都哭了。这是世界纪录啊！蔡司现在的水平也就65！”