第408章 风起华盛顿

「不过它对我们而言，也不是完全没有价值的。

各位，我下面说的，大家剩下学习的时间里一定要认真研究，重点关注。」

陈磊说：

「NIL光刻机路线不一定有未来，但它所蕴含的技术未必就没价值。

我们完全可以把这项技术中有价值的给拆出来，用在我们的光刻机路线上。」

陈磊的话，让在座的其他专家一下就打起了精神。

「这几天我一直在复盘佳能那台FPA-1200NZ2C的每一个细节。

它的核心那个纳米压印的『模头』，以及配套的UV固化系统，对我们来说是毒苹果，因为它和我们的DUV体系不兼容，而且捆绑了材料陷阱，我们后续如果林总给不出解决办法，那幺我认为我们必须坚决地把它剥离掉。」

他拿起笔，在笔记本上NIL结构图的压印核心部分，画了一个大大的红叉。

「但是，」他话锋一转，用笔圈出了结构图的另外三个部分，「这台机器的骨骼、神经和循环系统，对我们来说，有着非凡价值。」

王工饶有兴致地问：「陈博士，具体说说？什幺是它的骨骼、神经和循环？」

陈磊博士：「骨骼，我指的是它的超精密工件台系统。」他指向图纸的底座部分。「NIL是接触式光刻，每一次对准和移动，对工件台的平顺性、稳定性和定位精度的要求，比我们想像的还要苛刻。

佳能毕竟是光学和精密仪器巨头，他们在运动控制、减震和材料学上的积累非常深厚。

我们的光刻机现在最大的瓶颈之一，就是工件台在高速运动下的稳定性和套刻精度。

如果我们能彻底摸清佳能这套系统的设计逻辑、控制算法和驱动方式，哪怕只是学到七成，我们的套刻精度指标至少能再提升50%。

这是我根据公开资料的猜测，具体多少，要等到我们把佳能的技术融入到我们的工艺之后才能有更进一步的具体判断。」

王工摩挲下巴：「如果真能这样，我们的良品率还能提高一大截。」

陈磊接着说道：「是的。

然后是神经系统，它的全流程缺陷检测与测量单元。

NIL的致命弱点是缺陷率，所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统，用来在压印前后快速扫描晶圆，定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。