上。
国内现在连duv都还在理论摸索阶段。
这张图,直接跳到了euv。
而且,给出的指标,比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据,还要激进,还要精确。
这根本不是一份方案。
这是一份来自未来的施工图纸。
钱院士的手,下意识地伸过去。
想要抚摸那张图纸。
手指,却在半空中停住了。
有点抖。
他的视线,落在了图纸的一个角落。
那里画着一个反射镜组的截面图。
旁边有一行小字。
“o/si多层膜反射镜,每层厚度3-4纳米,总层数大于80层。”
老头感觉自己的后脑勺,被人用锤子狠狠砸了一下。
多层反射镜。
这个概念,只在国际最顶级的几个光学实验室里,有过最模糊的设想。
连篇正式的论文都没有。
可这张图上,不仅有。
连材料,厚度,层数,都写得清清楚楚。
就像画图的人,亲手做出来过一样。
还没等他从震惊中缓过来。
他又看到了光源部分的另一条标注。
“等离子体激发高能光子。”
钱院士靠在椅背上。
半天没喘过气来。
他彻底明白了。
之前看的那份报告,还有那份吓人的实验室建设方案。
背后,都有这张图的影子。
这不是外行人的异想天开。
这是内行到了极致,高到了云端之后的俯瞰。
“这些东西……”
老头的声音,有些干涩。
“你是从哪里弄来的?”
张红旗把图纸重新折好,收回包里。
“钱老,来源不重要。”
“重要的是,这条路,是对的。”
“未来十五到二十年,全世界的光刻机,都会往这条路上走。”
“我们现在起步,不晚。”
钱院士沉默了。
他看着张红旗。
这个年轻人的脸上,没有半点吹嘘和浮夸。
平静得就像在说一件已经发生过的事。
他心里那个最大的疑团,解开了。
这个年轻人,不是在买名声,更

