土化生产。特别是量测传感器、精密温控系统、减震平台等，这些不仅是光刻机需要的，也能投入高端代工生产线，实现「研发反哺生产」，让投入在当下就能看到部分回报。」

陈学兵看下去，不禁缓缓点头。

辛家手里有能人啊。

他原本准备好的一些问题，看样子倒是浅了，人家这行业报告做得比他还要深刻。

辛廷烨却道：「这个报告，下面的人曲解了我的意思，也是因为我没讲明白，他们以为我要做光刻机，把我们的工厂和光刻机制造联系起来了，我要先讲好，我不需要技术产出，也只投这一个亿，剩下的你们自己去折腾。」

「爷爷，你是说我们的工厂可以和光刻机生产结合？」

辛梦真快步走到陈学兵身边，一起看了起来。

陈学兵摇了摇头，边看边道：「没办法结合，技术溢出太多了，电子代工用不到这么精密的技术。」

「不过」他又补充道：「这个报告很专业。」

报告从b类和类部件提到了华微电子（辛家工厂）能够抽调的团队，和几个国内有名有姓能做零件替代的零部件厂。

报告的最终目标是针对尼康krf248n干式光刻机中15的非核心模块进行优化设计，完成首套改进型干式光刻机样机，以「可靠性提升」或「成本降低」为卖点。

陈学兵很佩服，但也有些失落。

想了半响，道：「krf（氟化氪）是波长248纳米的紫外线，最小线宽只能做到130纳米，这跟主流机型已经是三个代际差，更别说前沿机型了，至少要从arf

（氟化氩）起步，我的想法是从193n干式逐渐进入浸没式，达到134n等效波长，只有这样的机器，晶圆厂才有机会通过补偿和多次曝光达到40n以下线宽，你能不能让人给我做个arf光源的报告？」

光源问题是本质，arf光源好歹是有价值的，如果从krf光刻机开始研究，他都不知道有没有技术演进的价值。

辛廷烨显然是了解过，立即摇头：「你高看我们了，报告上已经讲了，光源是研究不出来的，krf光源工业化设备都要靠进口，国内绝对做不出来，你没接触过精密生产，做不出来就是做不出来，这个光源要气体纯度、电极、镀膜、压缩模块多方面配合，这么多东西，有人带路也要七八年，没人带路十几年也不一定搞得出来，krf光源制造设备能买，至于你说的arf，能不能偷偷买到还不好讲，别的