鸣般的掌声,更使得许多人微微调整坐姿集中注意。
哪怕温克姆和技术官布林克,都摘掉了眼镜,用镜布缓缓擦拭。
因为无论逐光极紫外光刻机达到何种水平,单徐铭对学界的贡献便足以被每个人尊敬。
这无关年龄。
徐铭此刻的神态,没有任何挑战者的张扬,反而带着种问题解决者步入实验室般的平静。
他没有寒暄耽搁时间,直接念出自己的开场白。
「在过去,光刻机的进化,是在一条既定的道路上,追求更快的马。」
「而今天我想分享的,是我们为何选择,以及如何造出了一辆车」」。
说完。
背后的大屏幕中,并没有展示晶片图片,反倒是调出了一组对比鲜明的动态模拟图。
左侧为传统轰击锡滴方案,右侧则是逐光使用的全新极紫外光源系统。
徐铭侧过身子看向屏幕,为大家介绍的同时,还不忘在后面报出三个数字。
「相比较传统的锡滴发生器和雷射路径,我们根据基础物理学的新理论发现,设计出全新的极紫外光源。」
「它的能量转化效率达34,热负载降低87。
「连续无维护运行时间,理论超过3000小时。」
首次在大会中披露出逐光的详细数据,几乎当声音在会场落下的瞬间,台下顿时响起阵难以置信的窃窃私语。
温克姆以及技术官布林克,皆身体前倾,眉头紧蹙。
身为阿斯麦半导体设备执行长,他太清楚这些数据意味着什么。
自家公司的工程师,为提升几个点的转换效率,降低几摄氏度的镜片热变形付出的代价,在这一刻似乎显得有些近乎悲壮。
「原来是这样。」
「难怪他们能解决物镜系统的短板。」
他回想起华国研发光刻机,在物镜上面一直以来的技术落后,先前还在疑惑为何能如此快突破,现在才明白竟是凭藉全新的光源系统来进行弥补。
念头停留在这里,嘴唇忍不住微动,用仅能身旁布林克听见的声音自顾自低喃一句。
「这不是改进,是对光源物理的重新写。」
然还没容他继续思考,注意力顿时又被台上,徐铭放出的新内容吸引。
「凭藉逐光极紫外光刻机,和璇玑算法工具,以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合,首次全链路流片验证便取得圆满成功。

