短暂的怔神后,贺鹏涛最先反应过来。
将目光转到旁边徐铭身上后,主动开口询问抛出自己的问题。
「老周讲的都是真的?」
「我记得你之前不是说,没研究过化学吗?」
他十分清楚的记得,当初徐铭提出,能在短时间内依靠璇玑系统解决新一代光刻胶时,便向其询问过是否对化学也有研究。
所得到的回答是否定。
怎么才短短几个月过去,就化身成化学专家了。
「这具体怎么回事?」丁顺安同样疑惑。
徐铭原本没打算参与话题,谁曾想聊到自己身上,面对周边大家的目光,他倒也没打算卖关子,未作迟疑便开口进行详细的回答。
「我确实在光刻胶合成的时候,帮了些忙。」
「至于对化学的研究,前两个月刚从化学研究所馆借阅了文献资料。」
「刚研究的?」贺鹏涛脱口惊呼。
他无论如何都没有想到,徐铭会给出这种答案。
仅研究了一段时间的化学文献资料,就能攻克新一代极紫外光刻胶。
变态程度根本无法形容。
嘴唇微动几下,最后他还是把话咽了回去,整个人仿佛失去了所有力气。
哪怕旁边的丁顺安等人,也完全一样。
生怕继续聊下去,又会被徐铭的话暴击,影响到今天的欣喜情绪。
最终还是余高远强行岔开话题。
「那个————时间差不多了,赶紧开始验证吧。」
有着上回的经验,这回进行流片验证,光刻过程只会更加顺利。
伴随逐光极紫外光刻机启动,由璇玑系统生成的测试晶片版图,在涂抹了新一代光刻胶的晶圆片上曝光。
超净间外。
大家通过观察窗,看着晶圆片被送入逐光光刻机。
神情越发的紧张和期待。
哪怕无比相信,最终的结果不会让人失望。
「这次流片的数量,是上回的数倍,所得到的各项数据也会更加精准。」
待众人离开观察窗后,丁顺安主动向余高远报告。
对今天进行的流片情况进行说明。
闻言余高远只是点了点头,并未发表意见。
毕竟一台新型号的极紫外光刻机,外加新开发的晶片设计软体和光刻胶,必须经过大量的流片验证,才能证明其产品技术的成熟性。

