第245章 你难道连这个也懂

「继续讲吧。」

徐铭点点头重新看向对方，示意往下接着报告。

这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。

「对。」

「快说下其他测试项目情况？」

想知道后续发展，??????.?

迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接着念出手中报告后面的内容。

「线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。」

随着这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。

原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。

没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。

而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。

旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。

从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。

正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。

视线约摸移动了几行内容，口中不由得低喃出声。

「线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。」

「我们的光刻胶刚完成技术升级————」

「不应出现这种情况才对？」

话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。

「璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。」

「没错。」苏振豪闻言也点了点头。

他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。

贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软体，都是为了制造高端晶片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。

那就是生产