分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐弥漫的紧张感，变得有些窒息。

连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。

生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。

不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行汇报，总算暂时打破眼下的氛围。

「报告徐总师，设备已调试完毕，随时可以进行流片。」

说完。

负责优化璇玑系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

「璇玑系统优化完成。」

闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

「开始吧。」

「是徐总设计师。」潘耀和苏振豪几乎同时回应。

紧接着所有科研人员，再次投入到紧张的工作状态，神情保持着高度专注。

此次流片验证采用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇玑系统软体生成。

包括解析度测试图案，套刻精度标志，电性测试机构，和特殊监测图形等。

不多时。

在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看着第一片矽片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇玑输出的工艺档和珠光的标准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成制造后，进行光学量测和电子显微镜检测。

或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终于舍得主动开口。

「真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经历过这种心情了。」

说这句话时，故作轻松的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。

「大家的压力确实不小。」贺鹏涛点点头附和句。

前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：「国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。」

他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位于国内领先地位。