辅助光刻机里，krf光刻机是最受半导体厂商欢迎的，价格便宜，性能也够用……不过krf光刻机就算便宜，但是也要七八百万美元一套。

而上述这些前道光刻机，只是整个晶圆厂所需要的诸多设备的其中一个类型而已。

然后还有后道光刻机，蚀刻机，例子注入机等……这些半导体关键设备的价格也是动不动就几千万美元的！

其中几百万的设备，那都算是便宜货了！

上述诸多昂贵的设备，再加上高级别的工厂建设费用等等加起来，就导致了先进半导体工厂的投资成本极为夸张。

智云微电子投资一座月产能五万片的五纳米工艺晶圆厂，其投资规模能够达到两百亿美元以上！

豪横如智云集团，也不可能说花费了两百亿美元建设一家采用heuv-300c光刻机为核心设备的先进晶圆厂，只让它制造七纳米或五纳米工艺的芯片啊……总得想办法让它制造未来的三纳米工艺的芯片，争取提升工厂的高利润寿命期啊。

海湾科技的王道林继续报告道：“今年我们的两种euv光刻机预计年出货量三十台，等到明年的时候，我们会加大产能，以期出货量能够达到四十台，其中的heuv-300c光刻机成为出货主力，以满足智云微电子对先进euv光刻机的庞大需求。”

徐申学翻看了智云微电子的扩充产能计划，微微点头，一年四十台的euv光刻机出货量，也算是够用了，能够在满足先进工艺的逻辑芯片生产需求的同时，也能够供给部分euv光刻机用于内存芯片以及闪存芯片的生产了！

智云微电子，可不仅仅是在逻辑芯片领域里采用euv光刻机，还在内存芯片领域以及闪存芯片领域里都开始采用euv光刻机呢，对euv光刻机的需求量是非常大的。

海湾科技那边一年三四十台的euv光刻机产能，智云微电子一家其实就能给包揽了，只给了国内的其他厂商留下了少量产能。

光靠智云微电子一家，就足以养活海湾科技了。

除了euv光刻机外，王道林还报告说，海湾科技预计今年还将会出货duv浸润式光刻机六十台左右，这个级别的光刻机除了智云微电子外，国内其他半导体厂商订购的也非常多，其中的heuv-600b型号这款成熟，性能可靠，价格也不错的光刻机销量很不错。

duv干式光刻机的销量比较少，只有十五台。

倒是krf光刻机作为一种辅