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是duv干式光刻机的话,那么问题可就比较大了,这玩意的arf光源可不好搞……但是就算不好搞,他多少还有点信心在最近两年内搞出来。
至于duv浸润式光刻机,说实话,王道林自己也不知道什么能搞出来。