验证后，又不得不相信，星源科技和燕京光电所，还真把EUV光源技术给搞了出来。

并且，还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。

两个小时后，李青松接到胡锐晖的电话。

「先封锁消息，让安国协会的工作人员立刻赶到沪城，所有参与了研发过程的人员，一律签署保密条例。」

李青松在明白这项技术的重要性后，脸色瞬间变得凝重起来，冲着一旁的秘书吩咐道。

他在星源科技身上，看到了国产光刻机崛起的希望！

「好的，李先生。」秘书不敢耽搁，抓起电话就开始联系安国协会，将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。

李青松则站在办公室的玻璃窗前，望着燕京灰蒙蒙的天空，不由地陷入了沉思。

星源科技在EUV光源领域的技术突破，像一道惊雷，劈开了自研光刻机路上的迷雾，可随之而来的，还有无数即将袭来的暗流。

一旦消息泄露，阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理，要幺通过专利诉讼拖延进度，要幺联合供应链施压，甚至可能动用盘外力量干预。

毕竟，半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争，背后牵扯着太多的利益博弈。

星源科技的发展让人出乎意料！

与此同时。

沪城星源科技的光学研究实验室里，林南正带领团队进行第三次稳定性测试。

屏幕上跳动的数据流显示，13.5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92%以上，能量转换效率为7.1%，远超阿斯麦所掌握的LPP光源。

这个数据，已经达到了商用标准！

但接下来，还有很多巨大的挑战和不确定性。

比如，脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量，旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力，目前的热管理技术就不匹配。

开辟一条新路，虽然可以独享，但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。

道阻且长！

……

……

傍晚时分，陈延森在下班后，并没有回三角洲别墅区，而是赶到机场，乘坐湾流 550飞往庐州。

明天下午两点，天工科技将在庐州会议中心召开新品发布会，正式把天工 B100和天工 C100推向市场。

他自然不能缺席。

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